【白光干涉儀系統(tǒng)構(gòu)成】

    ☆光學(xué)照明系統(tǒng)采用鹵素光源、中心波長(zhǎng)為576nm、光譜范圍340nm—780nm

    ☆光學(xué)成像系統(tǒng)采用無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成

    ☆垂直掃描系統(tǒng)采用閉環(huán)反饋控制方式驅(qū)動(dòng)顯微物鏡垂直移動(dòng)、移動(dòng)范圍100-1000μm、位置移動(dòng)精度0.1nm

    ☆信號(hào)處理系統(tǒng)計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析

【白光干涉儀工作原理】

    白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀(guān)察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。